Circuits en couches minces / Michel Massénat in Techniques de l'ingénieur E, Vol. E5 (Trimestriel)  

Circuits en couches minces : Couches minces traditionnelles [texte imprimé] / Michel Massénat, Auteur . - 2007 . - 23 p.
Langues : Français (fre)
in Techniques de l'ingénieur E > Vol. E5 (Trimestriel) . - 23 p.

Mots-clés :	Couches minces  traditionnelles  MCM  Hybrides
Résumé :	La principale ambiguïté attachée à la technologie des couches minces est contenue dans son nom, à savoir la notion de couche mince comparée à celle de couche épaisse. La notion d’épaisseur est-elle suffisante pour distinguer l’une de l’autre ? Certainement pas, tant les différents auteurs sont partagés sur le sujet. Je lui préfère quant à moi les notions de propriétés électriques et physiques, de matériaux déposés et de procédés de dépôt. Les couches minces sont utilisées depuis plusieurs décennies dans un grand nombre d’applications. Les plus anciennes et encore les plus répandues sont probablement les applications optiques. La métallurgie et la photographie ont également utilisé les couches minces mais dans les applications les plus modernes, on rencontre maintenant la chimie, la biochimie et la médecine, autour de capteurs de toutes sortes, de gaz mais aussi d’ADN (les biopuces).
REFERENCE :	E 3 365
Date :	Fevrier 2003
En ligne :	http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-automatique-th [...]