Circuits en couches minces / Michel Massénat in Techniques de l'ingénieur E, Vol. E5 (Trimestriel)  

Circuits en couches minces : MCM et techniques connexes [texte imprimé] / Michel Massénat, Auteur . - 2007 . - 21 p.
bibliogr.
Langues : Français (fre)
in Techniques de l'ingénieur E > Vol. E5 (Trimestriel) . - 21 p.

Mots-clés :	MCM  Techniques connexes  Couches minces  Couche  LTCC
Résumé :	L’article précédent Circuits en couches minces- Couches minces traditionnellesCircuits en couches minces- Couches minces traditionnelles, dédié aux couches minces dites « traditionnelles », a défini ce que l’on entend par couche mince, à savoir un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, habituellement obtenu sous vide. Ce dépôt est global, sur toute la surface du substrat et les motifs sont obtenus par une méthode soustractive, gravure chimique par exemple. Les couches minces sont utilisées depuis plusieurs décennies dans un grand nombre d’applications. Les plus anciennes et encore les plus répandues sont probablement les applications optiques. La métallurgie, la photographie ont également utilisé les couches minces mais dans les applications les plus modernes, on rencontre maintenant la chimie, la biochimie et la médecine, autour de capteurs de toutes sortes, de gaz mais aussi d’ADN (les biopuces).
REFERENCE :	E 3 366
Date :	MAI 2003
En ligne :	http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-automatique-th [...]