Matériau PZT compatible avec le silicium procédé de dépôt par voie sol-gel / Belleville, Philippe (2005)

in Techniques de l'ingénieur : matériaux fonctionnels Ti580. Matériaux à propriétés électriques et optiques / Gérard Béranger (2012)  

Matériau PZT compatible avec le silicium procédé de dépôt par voie sol-gel : réf. internet IN40 [texte imprimé] / Belleville, Philippe, Auteur ; Boy, Philippe, Auteur . - Paris : Techniques de l'ingénieur, 2005 . - p. 341 - 348.
Bibliogr. p. 347
Langues : Français (fre)

Mots-clés :	Matériau Silicium procédé Recherche -- But Procédé Avantage description
Note de contenu :	Sommaire : 1. But de la recherche 2. Etat de l'art 3. Avantages du procédé 4. Description du procédé 5. Autres compositions étudiées