Ellipsométrie- Théorie / Frank Bernoux (2003)

in Techniques de l'ingénieur : mesures mécanique et dimensionnelles Ti673. Métrologie optique et photonique / Marc Priel (2013)  

Ellipsométrie- Théorie : réf. internet : R6490 [texte imprimé] / Frank Bernoux, Auteur ; Jean-Philippe Piel, Auteur ; Bernard Castellon, Auteur ; Christophe Defranoux, Auteur . - Paris : Techniques de l'ingénieur, 2003 . - p.287-298.

Langues : Français (fre)

Mots-clés :	Ellipsométrie --paramétre
Note de contenu :	Sommaire: 1. Principe de la mesure 2. Techniques de mesure 3. Traitement du signal 4. Exploitation des paramètres ellipsométriques