Ellipsométrie.Instrumentation et applications / Frank Bernoux (2003)

in Techniques de l'ingénieur : mesures mécanique et dimensionnelles Ti673. Métrologie optique et photonique / Marc Priel (2013)  

Ellipsométrie.Instrumentation et applications : réf. internet : R6491 [texte imprimé] / Frank Bernoux, Auteur ; Jean-Philippe Piel, Auteur ; Bernard Castellon, Auteur ; Christophe Defranoux, Auteur . - Paris : Techniques de l'ingénieur, 2003 . - p.299-310.
Bibliogr. p.309-310
Langues : Français (fre)

Mots-clés :	Ellipsométrie -- Applications
Note de contenu :	Sommaire: 1. Instrumentation 2. Extensions 3. Domaines d’applications 4. Comparaison avec d’autres techniques