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Nature et qualité du vide (1997)
Nature et qualité du vide : contamination : réf. internet BM 4040 [texte imprimé] / Leclerc, Jean, Auteur . - 1997 . - P. 23 - 38.
in Techniques de l'ingénieur : machines hydrauliques, aérodynamiques et themiques Ti151. Technologies du vide (2012)
Bibliogr. p. 37
Langues : Français (fre)
Mots-clés : Vide -- Nature, qualité Note de contenu : Sommaire :
1. Production du vide
2. Évolution de la nature chimique
3. Qualité du vide. Contamination du vide
4. Mesure de l'atmosphère résiduelle
5. Mesure de la contamination des surfaces
6. Conclusion : Qualité du vide. Le vide propre
