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Ressources Électroniques
Les capteurs MEMS (2011)
Les capteurs MEMS : principes de fonctionnement : réf. internet R430 [texte imprimé] / Gilles Amendola, Auteur ; Patrick Poulichet, Auteur ; Laure Sevely, Auteur ; Laurie Valbin, Auteur . - 2011 . - p. 457-478 : ill.
in Techniques de l'ingénieur : instrumentation et méthodes de mesure Ti676. Capteurs et méthodes de mesure (2016)
Bibliogr. p. 477
Langues : Français (fre)
Mots-clés : Capteurs MEMS Transduction Note de contenu : Au sommaire :
1. Généralités et procédés de fabrication
2. Transduction utilisées dans les MEMS
3. Electronique de conditionnement
